臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。

臭氧檢測儀儀器校準方法
1 校準儀器校準
采用德國安思羅斯公司GM—PRO標準臭氧檢測儀對已生產的臭氧檢測儀進行分布選取10個測試點對比，誤差范圍控制在+1 %以內為合格。
2化學滴定法
國際公認化學方法即碘化鉀、硫代硫酸鈉滴定法來檢測臭氧濃度。我們也分布選取10個測試點，然后用臭氧檢測儀與化學滴定法測試的10個點進行對比，誤差范圍控制在 +1%以內。碘化鉀滴定法原理是用強氧化劑臭氧與碘化鉀反應,使碘游離出來到水里，水就會變為茶色。（反應式： O3+2KI+H2O O2+I2+KOH）利用硫代硫酸鈉標準液滴定，使游離碘變為碘化鈉，反應終點為水完全褪色。（反應式：I2+2Na2S2O3 2NaI+Na2S4O6）
臭氧濃度：C= (Ana×B×2400) / V0 單位 (mg/l)
(注釋：Ana----硫代硫酸鈉標準溶液用量ml ； B---硫代硫酸鈉標準溶液濃度mol/l；
V0-----臭氧氧化其他取樣體積ml )